СПЕКТРАЛЬНЫЕ ЭЛЛИПСОМЕТРЫ ДЛЯ ИССЛЕДОВАНИЙ СВОЙСТВ ТОНКИХ ПЛЕНОК
Спектральные эллипсометры HORIBA Scientific используют технологию анализа образцов на базе механически неподвижных модуляторов, так называемый фазово-модуляционный метод анализа, что позволяет достигать наибольшую чувствительность и точность исследований в широком спектральном диапазоне от вакуумного УФ до ИК.
Метод спектральной эллипсометрии позволяет определять такие свойства тонких пленок, как толщину и оптические константы (коэффициент преломления и коэффициент экстинкции/поглощения) для однослойные и многослойных структур, а также исследовать анизотропию, градиент, морфологию, кристалличность, химический состав и электропроводность образцов.
