Сканирующий спектральный фазово-модуляционный эллипсометр UVISEL 2 – мощнейший инструмент для исследования свойств тонких пленок. Предыдущая версия UVISEL показала себя, как наиболее точный и чувствительный эллипсометр. Используя данный опыт, компания HORIBA Scientific разработала новый прибор, внеся существенные улучшения в дизайн и автоматизацию. Как результат, по своим характеристикам UVISEL 2 превосходить любой из представленных на рынке аналогов.
Преимущества прибора:
- Широкий спектральный диапазон - от 190 до 2100 нм - позволяет исследовать пленки толщиной от 10 Ангстрем до 40 микрон;
- Высокочувствительная технология фазовой модуляции – модуляция поляризации осуществляется с высокой частотой (50 кГц) без механического перемещения движения, без каких-либо вибраций или отклонений луча;
- Патентованная система наблюдения образца MyAutoView, расположенная непосредственно в детектирующей головке эллипсометра, позволяет видеть точную форму и положение аналитического пятна на образце, в отличие от систем наблюдения под прямым углом к образцу.
- Патентованная система микропучка дает возможность автоматического выбора любого из 8 размеров микропятна. При этом минимальный размер микропятна – 35 микрон – является на сегодняшний момент наименьшим среди приборов данного класса. А использование только зеркальной оптики позволяет избежать искажений при анализе в диапазоне от УФ до ИК.
- Полная автоматизация прибора автоматическим гониометром, столиком XYZ, автоматической подстройкой наклона образца, функцией автокалибровки и микропучком позволяет быстро и комфортно проводить исследования образцов, а также выполнять картирование и анализ при различных углах падения.
- Время измерения полного спектрального диапазона 190-2100 нм – менее 10 минут;
- Современный дизайн – совместная разработка японских и французских специалистов. Прибор представляет собой единый модуль с внешним соединением к компьютеру всего лишь через 1 USB-кабель.
Уникальное программное обеспечение DeltaPsi2 позволяет полностью управлять прибором и проводить моделирование широкого круга образцов: анализировать многослойные, анизотропные, градиентные структуры, определять композиционный состав пленок, пористость и шероховатость. В базу данных DeltaPsi2 входит более 100 материалов и более 30 дисперсионных формул, а также алгоритмы анализа композиционных материалов. Все это позволяет исследовать образцы различной природы: полупроводники, диэлектрики и металлы, например, такие, как полимерные пленки, просветляющие покрытия, солнечные батареи, оптоэлектронные устройства и другие.
Доступные опции
Температурная ячейка, жидкостная ячейка, электрохимическая ячейка, герметичная ячейка, вращающийся столик, держатель для анализа на просвет, держатель для анализа гибких образцов.
Предлагаем также ознакомиться с новым вариантом исполнения эллипсометра – моделью Uvisel 2 VUV.
Параметры |
Значение |
Спектральный диапазон, нм |
190 - 880 (опционально 190 - 2100) |
Минимальный размер аналитического микропятна, мкр |
35 |
Число размеров аналитического микропятна, доступных для выбора из программного обеспечения |
8 |
Ахроматическая оптика микропучка |
от УФ до ИК |
Диапазон углов, град |
35 - 90 |
Держатель образца с двумя референсными образцами, мм |
200 |
Максимальное смещение по XY, мм |
200 х 200 |
Автоматическая подстройка по оси Z, мм |
35 (автофокус) |
Настройка положения образца |
при помощи лазерной системы |
Мощность источника (ксеноновая лампа), Вт |
150 |
Двойной монохроматор на УФ - видимый спектральный диапазон, нм |
190 – 880 (рассеянный свет < 0,5% при 190 нм) |
ФЭУ детекторы |
сдвоенные, для максимальной чувствительности и динамического диапазона |
ИК расширение, нм |
до 2100 |
Монохроматор на ИК диапазон, нм |
880 - 2100 |
InGaAs детектор |
наличие |
Качество измерений:
|
NIST 1000 ангстрем SiO2/Si
|
Точность, град |
d: σ = 0,25 ангстрем – n(632,8 нм): σ = 0,0002 |
Воспроизводимость |
d ±0,25 ангстрем – n(632,8 нм) ± 0,0002 |
Габаритные размеры (ДхШхВ), см |
108,4 х 98,4 х 80,2 |
Доступные опции и аксессуары:
Изображение
|
Опция
|
Краткое описание
|
|
Термостатируемый предметный столик
|
Предназначен для измерения характеристик образцов в диапазоне температур от -196°C до 350°C или от комнатной температуры до 600°C. Области применения: термический анализ переходов полимеров, анализ зонной структуры сложных сплавов.
|
|
Электрохимическая ячейка
|
Используется для изучения электрохимических процессов. Оптический доступ к образцу осуществляется через 3 окна, изготовленных из плавленого Si. Два окна расположены под углом 70º к нормали, третье окно предназначено для наблюдения за образцом, расположенным внутри ячейки. Ячейка, контактирующая с образцом, изготавливается из ПВХ, а держатель образца – из ПТФЭ. Ячейка содержит эталонный и интегрирующий электроды из Ag/AgCl и Pt соответственно. Объем ячейки составляет 43 мл.
|
|
Жидкостная ячейка
|
Предназначена для обеспечения легкого процесса измерения границ раздела фаз (жидкость/жидкость, твердое вещество/жидкость). Состоит из кюветы объемом 12 мл (размер ДхШхВ 30х30x13 мм). Изготовлена из нержавеющей стали и PEEK полимера. Имеет два УФ окна из Si, установленных под углом 70°. Используемые материалы и конструкция ячейки позволяют осуществлять полный демонтаж для проведения очистки, что помогает устранить перекрестное загрязнение при проведении экспериментов с различными образцами.
|
|
Герметичная ячейка
|
Разработана для проведения исследований образцов, чувствительных к воздушной среде или влаге, или для проведения исследования влияния паров или газов на многослойные покрытия. Обеспечивает полную герметичность, предотвращая взаимодействие образца с окружающей воздушной средой. Изготовлена из PTFE материала и предназначена для установки образцов с габаритными размерами до 50х50 мм с возможностью перемещения образца в пределах 10х10 мм по осям XY для проведения картирования. В конструкцию ячейки интегрирована проточная система, что делает возможным введение внутрь системы различных газов или паров. Исследуемый образец помещается внутрь ячейки, а оптический луч проходит через два УФ окна, изготовленных из плавленого Si и расположенных под углом 60°. Дополнительное окно в верхней части предназначено для выравнивания положения образца.
|
|
Криостат
|
Предназначен для поддержания низкой температуры образца Доступен по запросу. Пожалуйста, обратитесь к нам для получения более подробной информации.
|
|
Наклонный держатель образцов
|
Позволяет проводить измерение пропускания образцов диаметром от 10 до 50 мм при угле гониометра 70°. Устанавливается непосредственно на стандартной предметный столик.
|
|
Держатель гибких подложек
|
Обеспечивает быструю установку гибких образцов в двойное железное кольцо для проведения измерений. Доступно два диаметра: 20 и 50 мм.
|