Спектральный эллипсометр UVISEL 2

Новое поколение популярной серии эллипсометров UVISEL.

  • полностью автоматизированное измерение образцов и калибровка прибора;
  • возможность измерять образцы толщиной от нескольких Ангстрем до десятков микрон благодаря широкому спектральному диапазону;
  • оптимальное решение для большинства задач анализа тонких пленок.

Сканирующий спектральный фазово-модуляционный эллипсометр UVISEL 2 – мощнейший инструмент для исследования свойств тонких пленок. Предыдущая версия UVISEL показала себя, как наиболее точный и чувствительный эллипсометр. Используя данный опыт, компания HORIBA Scientific разработала новый прибор, внеся существенные улучшения в дизайн и автоматизацию. Как результат, по своим характеристикам UVISEL 2 превосходить любой из представленных на рынке аналогов.


Преимущества прибора:

  • Широкий спектральный диапазон - от 190 до 2100 нм - позволяет исследовать пленки толщиной от 10 Ангстрем до 40 микрон;
  • Высокочувствительная технология фазовой модуляции – модуляция поляризации осуществляется с высокой частотой (50 кГц) без механического перемещения движения, без каких-либо вибраций или отклонений луча;
  • Патентованная система наблюдения образца MyAutoView, расположенная непосредственно в детектирующей головке эллипсометра, позволяет видеть точную форму и положение аналитического пятна на образце, в отличие от систем наблюдения под прямым углом к образцу.
  • Патентованная система микропучка дает возможность автоматического выбора любого из 8 размеров микропятна. При этом минимальный размер микропятна – 35 микрон – является на сегодняшний момент наименьшим среди приборов данного класса. А использование только зеркальной оптики позволяет избежать искажений при анализе в диапазоне от УФ до ИК.
  • Полная автоматизация прибора автоматическим гониометром, столиком XYZ, автоматической подстройкой наклона образца, функцией автокалибровки и микропучком позволяет быстро и комфортно проводить исследования образцов, а также выполнять картирование и анализ при различных углах падения.
  • Время измерения полного спектрального диапазона 190-2100 нм – менее 10 минут;
  • Современный дизайн – совместная разработка японских и французских специалистов. Прибор представляет собой единый модуль с внешним соединением к компьютеру всего лишь через 1 USB-кабель.

Уникальное программное обеспечение DeltaPsi2 позволяет полностью управлять прибором и проводить моделирование широкого круга образцов: анализировать многослойные, анизотропные, градиентные структуры, определять композиционный состав пленок, пористость и шероховатость. В базу данных DeltaPsi2 входит более 100 материалов и более 30 дисперсионных формул, а также алгоритмы анализа композиционных материалов. Все это позволяет исследовать образцы различной природы: полупроводники, диэлектрики и металлы, например, такие, как полимерные пленки, просветляющие покрытия, солнечные батареи, оптоэлектронные устройства и другие.

Доступные опции
Температурная ячейка, жидкостная ячейка, электрохимическая ячейка, герметичная ячейка, вращающийся столик, держатель для анализа на просвет, держатель для анализа гибких образцов.

Предлагаем также ознакомиться с новым вариантом исполнения эллипсометра – моделью Uvisel 2 VUV.

Параметры Значение

Спектральный диапазон, нм

190 - 880
(опционально 190 - 2100)

Минимальный размер аналитического микропятна, мкр

35

Число размеров аналитического микропятна, доступных для выбора из программного обеспечения

8

Ахроматическая оптика микропучка

от УФ до ИК

Диапазон углов, град

35 - 90

Держатель образца с двумя референсными образцами, мм

200

Максимальное смещение по XY, мм

200 х 200

Автоматическая подстройка по оси Z, мм

35 (автофокус)

Настройка положения образца

при помощи лазерной системы

Мощность источника (ксеноновая лампа), Вт

150

Двойной монохроматор на УФ - видимый спектральный диапазон, нм

190 – 880
(рассеянный свет < 0,5% при 190 нм)

ФЭУ детекторы

сдвоенные, для максимальной чувствительности и динамического диапазона

ИК расширение, нм

до 2100

Монохроматор на ИК диапазон, нм

880 - 2100

InGaAs детектор

наличие

Качество измерений:

NIST 1000 ангстрем SiO2/Si

Точность, град

d: σ = 0,25 ангстрем – n(632,8 нм): σ = 0,0002

Воспроизводимость

d ±0,25 ангстрем – n(632,8 нм) ± 0,0002

Габаритные размеры (ДхШхВ), см

108,4 х 98,4 х 80,2

Брошюра HORIBA Uvisel 2.pdf

Листовка HORIBA решения для эллипсометрии eng.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Общие вопросы.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Инструментарий.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Методики измерений.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Анализ данных.pdf

Приложение Эллипсометрия - Определение оптических характеристик ITO пленок (рус).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ SiO2 на прозрачной подложке (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ TFT панелей (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ биосенсоров на основе системы биотин-авидин (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ тонких пленок на основе CIGS (CuIn1-xGaxSe2) (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ функционализированных нанокристаллов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ электрохромных материалов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Оптические свойства пленок Y2O3 (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Применение эллипсометрии в фотовольтаике (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование алмазов с примесями и без примесей (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование свойств органических светодиодов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование термохромных свойств материалов.pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование тонкопленочных устройств на основе LED (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование ферроэлектрических пленок (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Оптический анализ органических полупроводников (eng).pdf

Приложения метода спектральной эллипсометрии.pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследования оптических констант тонких пленок фуллеренов C60 и C70 (eng).pdf

Доступные опции и аксессуары:

Изображение Опция Краткое описание

thermostage.jpg

Термостатируемый предметный столик

Предназначен для измерения характеристик образцов в диапазоне температур от -196°C до 350°C или от комнатной температуры до 600°C. Области применения: термический анализ переходов полимеров, анализ зонной структуры сложных сплавов.

Electrochemical_cell-sm.jpg

Электрохимическая ячейка

Используется для изучения электрохимических процессов. Оптический доступ к образцу осуществляется через 3 окна, изготовленных из плавленого Si. Два окна расположены под углом 70º к нормали, третье окно предназначено для наблюдения за образцом, расположенным внутри ячейки. Ячейка, контактирующая с образцом, изготавливается из ПВХ, а держатель образца – из ПТФЭ. Ячейка содержит эталонный и интегрирующий электроды из Ag/AgCl и Pt соответственно. Объем ячейки составляет 43 мл.

Liquid_cell-sm.jpg

Жидкостная ячейка

Предназначена для обеспечения легкого процесса измерения границ раздела фаз (жидкость/жидкость, твердое вещество/жидкость). Состоит из кюветы объемом 12 мл (размер ДхШхВ 30х30x13 мм). Изготовлена из нержавеющей стали и PEEK полимера. Имеет два УФ окна из Si, установленных под углом 70°. Используемые материалы и конструкция ячейки позволяют осуществлять полный демонтаж для проведения очистки, что помогает устранить перекрестное загрязнение при проведении экспериментов с различными образцами.

cellule-azote-detouree.jpg

Герметичная ячейка

Разработана для проведения исследований образцов, чувствительных к воздушной среде или влаге, или для проведения исследования влияния паров или газов на многослойные покрытия. Обеспечивает полную герметичность, предотвращая взаимодействие образца с окружающей воздушной средой. Изготовлена из PTFE материала и предназначена для установки образцов с габаритными размерами до 50х50 мм с возможностью перемещения образца в пределах 10х10 мм по осям XY для проведения картирования. В конструкцию ячейки интегрирована проточная система, что делает возможным введение внутрь системы различных газов или паров. Исследуемый образец помещается внутрь ячейки, а оптический луч проходит через два УФ окна, изготовленных из плавленого Si и расположенных под углом 60°. Дополнительное окно в верхней части предназначено для выравнивания положения образца.

Криостат

Предназначен для поддержания низкой температуры образца Доступен по запросу. Пожалуйста, обратитесь к нам для получения более подробной информации.

Tilted_Sample_Holder.jpg

Наклонный держатель образцов

Позволяет проводить измерение пропускания образцов диаметром от 10 до 50 мм при угле гониометра 70°. Устанавливается непосредственно на стандартной предметный столик.

Flexible_Substrate_Holder.jpg

Держатель гибких подложек

Обеспечивает быструю установку гибких образцов в двойное железное кольцо для проведения измерений. Доступно два диаметра: 20 и 50 мм.




Яндекс.Метрика