Эллипсометр Auto SE объединяет максимальную эффективность анализа тонких пленок и простоту работы на приборе. Позволяет проводить исследования в полностью автоматическом режиме, путем нажатия одной кнопки. Измерение образца занимает всего несколько секунд, и результирующий отчет полностью описывает тонкопленочную структуру – толщины слоев, оптические константы, шероховатость поверхности и неоднородность слоев.
Прибор даже в стандартной конфигурации оснащен богатым пакетом опций: XYZ столик, наблюдение образца в видеокамеру в реальном времени, автоматический выбор размера аналитического пятна, диагностические датчики для автоматического контроля неисправностей. Широкий набор аксессуаров доступен для большого круга приложений.
Основные преимущества:
| Параметры | Значение |
Спектральный диапазон, нм |
440 – 1000 |
Размеры аналитического пятна: автоматический выбор, мкм |
500x500; 250x500; 250x250; 70x250; |
Система регистрации |
ПЗС |
Разрешение, нм |
2 |
Столик образца |
вакуумный прижим |
Подстройка по высоте, мм |
40 |
Визуализация образца |
ПЗС камера |
Поле наблюдения, мм |
1,33 х 1 |
Разрешение, мкм |
10 |
Гониометр, град |
фиксированный при 70 |
Время измерения, сек |
менее 2 |
Точность |
NIST 100 нм d ± 4 ангстрема, n(632,8 нм) ± 0,002 |
Воспроизводимость |
NIST 15 нм ± 0,2 ангстрема |
Брошюра HORIBA Auto SE (рус).pdf
Листовка HORIBA решения для эллипсометрии eng.pdf
FAQ Спектральная эллипсометрия - Общие вопросы.pdf
FAQ Спектральная эллипсометрия - Инструментарий.pdf
FAQ Спектральная эллипсометрия - Методики измерений.pdf
FAQ Спектральная эллипсометрия - Анализ данных.pdf
Приложение Эллипсометрия - Анализ SiO2 на прозрачной подложке (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Анализ TFT панелей (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Анализ биосенсоров на основе системы биотин-авидин (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Анализ тонких пленок на основе CIGS (CuIn1-xGaxSe2) (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Анализ функционализированных нанокристаллов (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Анализ электрохромных материалов (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Исследование алмазов с примесями и без примесей (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Исследование свойств органических светодиодов (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Исследование термохромных свойств материалов (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Исследование тонкопленочных устройств на основе LED (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Исследование ферроэлектрических пленок (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Оптические свойства пленок Y2O3 (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Оптический анализ органических полупроводников (eng).pdf
Приложение Эллипсометрия - Применение эллипсометрии в фотовольтаике (eng).pdf
Приложения метода спектральной эллипсометрии.pdf
Приложение Эллипсометрия - Определение оптических характеристик ITO пленок (рус).pdf
Приложение Эллипсометрия – Определение характеристик тонких светодиодных пленок (рус).pdf
Доступные опции и аксессуары:
| Изображение | Опция | Краткое описание |
|
|
Поворотный или θ столик |
Позволяет производить автоматизированное вращение образца вокруг оси. Предназначен для определения характеристик анизотропных образцов и жидких кристаллов. Диапазон вращения 0-360°, диаметр столика 150 мм, угловое разрешение 0,005°. |
|
|
Электрохимическая ячейка |
Используется для изучения электрохимических процессов. Оптический доступ к образцу осуществляется через 3 окна, изготовленных из плавленого Si. Два окна расположены под углом 70º к нормали, третье окно предназначено для наблюдения за образцом, расположенным внутри ячейки. Ячейка, контактирующая с образцом, изготавливается из ПВХ, а держатель образца – из ПТФЭ. Ячейка содержит эталонный и интегрирующий электроды из Ag/AgCl и Pt соответственно. Объем ячейки составляет 43 мл. |
|
|
Жидкостная ячейка |
Предназначена для обеспечения легкого процесса измерения границ раздела фаз (жидкость/жидкость, твердое вещество/жидкость). Состоит из кюветы объемом 12 мл (размер ДхШхВ 30х30x13 мм). Изготовлена из нержавеющей стали и PEEK полимера. Имеет два УФ окна из Si, установленных под углом 70°. Используемые материалы и конструкция ячейки позволяют осуществлять полный демонтаж для проведения очистки, что помогает устранить перекрестное загрязнение при проведении экспериментов с различными образцами. |
|
|
Герметичная ячейка |
Разработана для проведения исследований образцов, чувствительных к воздушной среде или влаге, или для проведения исследования влияния паров или газов на многослойные покрытия. Обеспечивает полную герметичность, предотвращая взаимодействие образца с окружающей воздушной средой. Изготовлена из PTFE материала и предназначена для установки образцов с габаритными размерами до 50х50 мм с возможностью перемещения образца в пределах 10х10 мм по осям XY для проведения картирования. В конструкцию ячейки интегрирована проточная система, что делает возможным введение внутрь системы различных газов или паров. Исследуемый образец помещается внутрь ячейки, а оптический луч проходит через два УФ окна, изготовленных из плавленого Si и расположенных под углом 60°. Дополнительное окно в верхней части предназначено для выравнивания положения образца. |
|
|
Криостат |
Предназначен для поддержания низкой температуры образца Доступен по запросу. Пожалуйста, обратитесь к нам для получения более подробной информации. |
|
|
Наклонный держатель образцов |
Позволяет проводить измерение пропускания образцов диаметром от 10 до 50 мм при угле гониометра 70°. Устанавливается непосредственно на стандартной предметный столик. |
|
|
Держатель гибких подложек |
Обеспечивает быструю установку гибких образцов в двойное железное кольцо для проведения измерений. Доступно два диаметра: 20 и 50 мм. |
Спасибо! Ваш запрос успешно отправлен.
