Спектральный эллипсометр Auto SE

Быстрый, простой и полностью автоматизированный эллипсометр для типовых приложений.

  • широкий спектральный диапазон – от 440 до 1000 нм;
  • визуализация образца, анализ толщин и оптических константа менее, чем за 5 секунд;
  • точность определения показателя преломления до 0,002.

Эллипсометр Auto SE объединяет максимальную эффективность анализа тонких пленок и простоту работы на приборе. Позволяет проводить исследования в полностью автоматическом режиме, путем нажатия одной кнопки. Измерение образца занимает всего несколько секунд, и результирующий отчет полностью описывает тонкопленочную структуру – толщины слоев, оптические константы, шероховатость поверхности и неоднородность слоев.

Прибор даже в стандартной конфигурации оснащен богатым пакетом опций: XYZ столик, наблюдение образца в видеокамеру в реальном времени, автоматический выбор размера аналитического пятна, диагностические датчики для автоматического контроля неисправностей. Широкий набор аксессуаров доступен для большого круга приложений.


Основные преимущества:

  • Легкий и удобный анализ тонких пленок;
  • Богатая базовая конфигурация;
  • Система наблюдения образца;
  • Аналитический микропучок минимально до 25x60 мкм;
  • Широкий выбор аксессуаров.
Параметры Значение

Спектральный диапазон, нм

440 – 1000

Размеры аналитического пятна: автоматический выбор, мкм

500x500; 250x500; 250x250; 70x250;
100x100; 50x60; 25x60

Система регистрации

ПЗС

Разрешение, нм

2

Столик образца

вакуумный прижим

Подстройка по высоте, мм

40

Визуализация образца

ПЗС камера

Поле наблюдения, мм

1,33 х 1

Разрешение, мкм

10

Гониометр, град

фиксированный при 70
по заказу на 66 или 61,5

Время измерения, сек

менее 2
типичное - 5

Точность

NIST 100 нм d ± 4 ангстрема, n(632,8 нм) ± 0,002

Воспроизводимость

NIST 15 нм ± 0,2 ангстрема

Брошюра HORIBA Auto SE (рус).pdf

Листовка HORIBA решения для эллипсометрии eng.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Общие вопросы.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Инструментарий.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Методики измерений.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Анализ данных.pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ SiO2 на прозрачной подложке (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ TFT панелей (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ биосенсоров на основе системы биотин-авидин (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ тонких пленок на основе CIGS (CuIn1-xGaxSe2) (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ функционализированных нанокристаллов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ электрохромных материалов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование алмазов с примесями и без примесей (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование свойств органических светодиодов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование термохромных свойств материалов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование тонкопленочных устройств на основе LED (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование ферроэлектрических пленок (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Оптические свойства пленок Y2O3 (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Оптический анализ органических полупроводников (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Применение эллипсометрии в фотовольтаике (eng).pdf

Приложения метода спектральной эллипсометрии.pdf

Приложение Эллипсометрия - Определение оптических характеристик ITO пленок (рус).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследования оптических констант тонких пленок фуллеренов C60 и C70 (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия – Определение характеристик тонких светодиодных пленок (рус).pdf

Доступные опции и аксессуары:

Изображение Опция Краткое описание

rotation_stage-sm.jpg

Поворотный или θ столик

Позволяет производить автоматизированное вращение образца вокруг оси. Предназначен для определения характеристик анизотропных образцов и жидких кристаллов. Диапазон вращения 0-360°, диаметр столика 150 мм, угловое разрешение 0,005°.

Electrochemical_cell-sm.jpg

Электрохимическая ячейка

Используется для изучения электрохимических процессов. Оптический доступ к образцу осуществляется через 3 окна, изготовленных из плавленого Si. Два окна расположены под углом 70º к нормали, третье окно предназначено для наблюдения за образцом, расположенным внутри ячейки. Ячейка, контактирующая с образцом, изготавливается из ПВХ, а держатель образца – из ПТФЭ. Ячейка содержит эталонный и интегрирующий электроды из Ag/AgCl и Pt соответственно. Объем ячейки составляет 43 мл.

Liquid_cell-sm.jpg

Жидкостная ячейка

Предназначена для обеспечения легкого процесса измерения границ раздела фаз (жидкость/жидкость, твердое вещество/жидкость). Состоит из кюветы объемом 12 мл (размер ДхШхВ 30х30x13 мм). Изготовлена из нержавеющей стали и PEEK полимера. Имеет два УФ окна из Si, установленных под углом 70°. Используемые материалы и конструкция ячейки позволяют осуществлять полный демонтаж для проведения очистки, что помогает устранить перекрестное загрязнение при проведении экспериментов с различными образцами.

cellule-azote-detouree.jpg

Герметичная ячейка

Разработана для проведения исследований образцов, чувствительных к воздушной среде или влаге, или для проведения исследования влияния паров или газов на многослойные покрытия. Обеспечивает полную герметичность, предотвращая взаимодействие образца с окружающей воздушной средой. Изготовлена из PTFE материала и предназначена для установки образцов с габаритными размерами до 50х50 мм с возможностью перемещения образца в пределах 10х10 мм по осям XY для проведения картирования. В конструкцию ячейки интегрирована проточная система, что делает возможным введение внутрь системы различных газов или паров. Исследуемый образец помещается внутрь ячейки, а оптический луч проходит через два УФ окна, изготовленных из плавленого Si и расположенных под углом 60°. Дополнительное окно в верхней части предназначено для выравнивания положения образца.

Криостат

Предназначен для поддержания низкой температуры образца Доступен по запросу. Пожалуйста, обратитесь к нам для получения более подробной информации.

Tilted_Sample_Holder.jpg

Наклонный держатель образцов

Позволяет проводить измерение пропускания образцов диаметром от 10 до 50 мм при угле гониометра 70°. Устанавливается непосредственно на стандартной предметный столик.

Flexible_Substrate_Holder.jpg

Держатель гибких подложек

Обеспечивает быструю установку гибких образцов в двойное железное кольцо для проведения измерений. Доступно два диаметра: 20 и 50 мм.




Яндекс.Метрика