Спектральный эллипсометр Smart SE

Доступный и функциональный эллипсометр.

  • спектральный диапазон от 450 до 1000 нм;
  • определение толщины пленок от нескольких ангстрем до 20 мкм;
  • широкий набор опций в базовой конфигурации.

Многофункциональный спектральный эллипсометр Smart SE для быстрого и точного анализа тонких пленок, позволяющий определять толщины пленок от нескольких Ангстрем до 20 микрон, оптические характеристики (n,k), шероховатость, градиентные и анизотропные слои и многое другое. Спектральный диапазон от 450 до 1000 нм регистрируется за несколько секунд, и эллипсометрические данные анализируются с помощью ПО DeltaPsi2. Программное обеспечение включает два уровня: рутинный анализ с помощью предустановленных процедур и продвинутый анализ с большим набором методов математического моделирования.

Smart SE – экономичный прибор, обладающий при этом широким набором опций, включенных в базовую конфигурацию: система наблюдения образца, 7 автоматически устанавливаемых размеров аналитического микропучка, анализ всех 16-ти элементов матрицы.

Гибкий дизайн Smart SE позволяет установить на него автоматический столик образца и гониометр, а также использовать эллипсометр в режиме in-situ, например, на напылительной камере. Данный элипсометр покрывает широкий спектр приложений для микроэлектроники, фотовольтаики, производства дисплеев, оптических покрытий, обработки поверхности и анализа органических смесей.

Параметры Значение

Спектральный диапазон, нм

450 – 1000

Спектральное разрешение, нм

лучше, чем 3

Источник света

комбинированный
(галогенная лампа и синий диод)

Время измерения, сек

< 1 до 10

Размеры аналитического пятна, мкм

75 х 150; 100 х 250; 100 х 500;
150 х 150; 250 х 250; 250 х 500; 500 х 500

Угол падения, град

от 45 до 90 с шагом 5

Размер образца, мм

до 200

Подстройка положения образца

ручная, 17мм по высоте и наклону

Качество измерений:

Точность (напрямую через воздух)

Ψ=450±0,050; Δ=00±0,20

Точность (по толщине на оксиде 1000 ангстрем)

0,04%

Воспроизводимость (по толщине на оксиде 1000 ангстрем)

±0,02%

Размеры (ДхШхВ), см

100 х 46 х 23

Листовка HORIBA SmartSE рус.pdf

Листовка HORIBA SmartSE eng.pdf

Листовка HORIBA решения для эллипсометрии eng.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Общие вопросы.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Инструментарий.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Методики измерений.pdf

FAQ Спектральная эллипсометрия - Анализ данных.pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ SiO2 на прозрачной подложке (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ TFT панелей (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ биосенсоров на основе системы биотин-авидин (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ тонких пленок на основе CIGS (CuIn1-xGaxSe2) (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ функционализированных нанокристаллов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Анализ электрохромных материалов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование алмазов с примесями и без примесей (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование свойств органических светодиодов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование термохромных свойств материалов (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование тонкопленочных устройств на основе LED (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследование ферроэлектрических пленок (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Оптические свойства пленок Y2O3 (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Оптический анализ органических полупроводников (eng).pdf

Приложение Эллипсометрия - Применение эллипсометрии в фотовольтаике (eng).pdf

Приложения метода спектральной эллипсометрии.pdf

Приложение Эллипсометрия - Определение оптических характеристик ITO пленок (рус).pdf

Приложение Эллипсометрия - Исследования оптических констант тонких пленок фуллеренов C60 и C70 (eng).pdf

Доступные опции и аксессуары:

Изображение Опция Краткое описание

XYmotorized.jpg

Моторизированный XY столик

Обеспечивает автоматизированное перемещение образца для проведения картирования. Дополнительные функции, такие, как возможность наблюдения образца с помощью системы на базе CCD камеры в сочетании с интегрированной оптикой формирования микропучка обеспечивают идеальное решение для определения характеристик пластин с рисунком.

autogonio.jpg

Автоматический гониометр

Предназначен для проведения изменения образцов при разных углах падения. Целью многократного измерения при разных углах является увеличение количества доступных данных для определения характеристик материала. Кроме того, каждый материал имеет угол Брюстера, при котором достигается наибольшая чувствительность.

compact_integrated_goniometer-sm.jpg

Ручной гониометр

Обеспечивает экономически эффективное решение для настольных эллипсометров. Данная конфигурация удобна для большинства областей применения. Диапазон изменения угла падения составляет 35-90° с шагом 5°.

thermostage.jpg

Термостатируемый предметный столик

Предназначен для измерения характеристик образцов в диапазоне температур от -196°C до 350°C или от комнатной температуры до 600°C. Области применения: термический анализ переходов полимеров, анализ зонной структуры сложных сплавов.

Electrochemical_cell-sm.jpg

Электрохимическая ячейка

Используется для изучения электрохимических процессов. Оптический доступ к образцу осуществляется через 3 окна, изготовленных из плавленого Si. Два окна расположены под углом 70º к нормали, третье окно предназначено для наблюдения за образцом, расположенным внутри ячейки. Ячейка, контактирующая с образцом, изготавливается из ПВХ, а держатель образца – из ПТФЭ. Ячейка содержит эталонный и интегрирующий электроды из Ag/AgCl и Pt соответственно. Объем ячейки составляет 43 мл.

Liquid_cell-sm.jpg

Жидкостная ячейка

Предназначена для обеспечения легкого процесса измерения границ раздела фаз (жидкость/жидкость, твердое вещество/жидкость). Состоит из кюветы объемом 12 мл (размер ДхШхВ 30х30x13 мм). Изготовлена из нержавеющей стали и PEEK полимера. Имеет два УФ окна из Si, установленных под углом 70°. Используемые материалы и конструкция ячейки позволяют осуществлять полный демонтаж для проведения очистки, что помогает устранить перекрестное загрязнение при проведении экспериментов с различными образцами.

cellule-azote-detouree.jpg

Герметичная ячейка

Разработана для проведения исследований образцов, чувствительных к воздушной среде или влаге, или для проведения исследования влияния паров или газов на многослойные покрытия. Обеспечивает полную герметичность, предотвращая взаимодействие образца с окружающей воздушной средой. Изготовлена из PTFE материала и предназначена для установки образцов с габаритными размерами до 50х50 мм с возможностью перемещения образца в пределах 10х10 мм по осям XY для проведения картирования. В конструкцию ячейки интегрирована проточная система, что делает возможным введение внутрь системы различных газов или паров. Исследуемый образец помещается внутрь ячейки, а оптический луч проходит через два УФ окна, изготовленных из плавленого Si и расположенных под углом 60°. Дополнительное окно в верхней части предназначено для выравнивания положения образца.

Криостат

Предназначен для поддержания низкой температуры образца Доступен по запросу. Пожалуйста, обратитесь к нам для получения более подробной информации.

Tilted_Sample_Holder.jpg

Наклонный держатель образцов

Позволяет проводить измерение пропускания образцов диаметром от 10 до 50 мм при угле гониометра 70°. Устанавливается непосредственно на стандартной предметный столик.

Flexible_Substrate_Holder.jpg

Держатель гибких подложек

Обеспечивает быструю установку гибких образцов в двойное железное кольцо для проведения измерений. Доступно два диаметра: 20 и 50 мм.




Яндекс.Метрика