Сканирующий зондовый микроскоп SmartSPM является первым в мире полностью автоматизированным прибором для высокоскоростных измерений свойств материалов на наноуровне, измерений со сверхвысоким разрешением и метрологических измерений во всех АСМ и СТМ режимах.
Измерительные методики
Контактная и полуконтактная АСМ на воздухе и в жидкости, бесконтактная АСМ, метод фазового контраста, метод латеральных сил, динамическая силовая микроскопия, МСМ, методика зонда Кельвина, сканирующая емкостная микроскопия, электросиловая микроскопия, микроскопия пьезоотклика, силовая спектроскопия, нанолитография и наноманипуляции, СТМ, микроскопия токов растекания, измерение вольт-амперных характеристик.
Автоматизация
Автоматическая настройка регистрирующей системы освобождает пользователя от рутинных операций, а также обеспечивает повторяемость настройки вне зависимости от его опыта. Моторизация позиционирования образца в горизонтальной плоскости позволяет пользователю легко находить область, в которой необходимо производить сканирование. В автоматическом режиме пользователю необходимо лишь указать основные параметры зонда и поле сканирования для того, чтобы программа произвела полную настройку системы, подвела зонд к поверхности образца и начала сканирование. Минимальное время обучения, а также возможность быстрого старта измерений (менее 5 минут) делает SmartSPM идеальным решением для учебных заведений, где прибор работает в многопользовательском режиме.
Оптический доступ к зонду и образцу
Наличие оптического доступа к образцу не только сверху, но и сбоку позволяет воздействовать на образец лазером с заданной поляризацией и собирать рассеянный свет с поверхности образца, что особенно важно для проведения ГКР/TERS экспериментов.
Регистрирующая система с ИК лазером
Позволяет измерять широкий диапазон образцов с высоким разрешением, включая образцы чувствительные к видимому свету. В оптическом микроскопе лазер системы регистрации не виден, что облегчает визуальный контроль области сканирования.
Высокоскоростное сканирование
Быстрый сканер с очень высокими резонансными частотами позволяет проводить сканирование на скоростях до 10 раз выше по сравнению с большинством микроскопов на рынке. Малая нелинейность и низкие шумы датчиков обратной связи позволяют использовать сканер для метрологических приложений. Высокая стабильность в сочетании с высокочастотным сканером позволяет получать атомарное разрешение на сканере с максимальным полем 100 мкм. Термокомпенсация сканера обеспечивает получение низких тепловых дрейфов.
Улучшенный алгоритм контроля обратной связи и фазовой задержки
Данный алгоритм позволяет осуществлять сканирование с более высокой скоростью без перескоков и проблем с генерацией сканера, устраняет искажения изображения и ошибки при зуммировании. Существенно уменьшает время установления сигнала на скачок по X, Y и Z направлениям, а также снижает ошибку отставания по фазе в сотни раз вдоль оси X и Y.
Модульный цифровой контроллер
Модульный дизайн контроллера обеспечивает возможность расширения и адаптации контроллера в соответствии с задачами пользователя, а также проведение обновления уже установленных контроллеров. Высокоскоростной DSP обеспечивает синтез полностью цифровых PID обратных связей по трем осям с возможностью расширения до 9 каналов управления для обеспечения интеграции с другими методиками измерений. Имеется возможность подачи модуляции на зонд и X, Y и Z оси сканера. Наличие выхода напряжения смещения. Цифровые входы/выходы и аналоговые входы для интеграции с внешними устройствами.
Гибкость программного обеспечения
Благодаря встроенным в программное обеспечение языку программирования Lua и макроязыку для программирования DSP пользователь имеет возможность адаптировать прибор под свои специфические задачи.
