Сканирующий зондовый микроскоп AIST CombiScope

Автоматизированный СЗМ для работы с инвертированной оптикой и спектральными приборами.

  • оптический доступ к зонду и образцу сверху, сбоку и снизу;
  • полностью автоматическая настройка;
  • ИК лазер с длиной волны 1300 нм для измерения фоточувствительных образцов и упрощения интеграции прибора со спектральными методами измерений.

Сканирующий зондовый микроскоп CombiScope – полностью автоматизированный прибор, оптимизированный для работы с инвертированной оптикой, с возможностью работы с образцами большого размера, в том числе жидкостными и газовыми ячейками, с оптическим доступом к зонду и образцу по верхнему, нижнему и боковому оптическим каналам.

Измерительные методики
Контактная и полуконтактная АСМ на воздухе и в жидкости, бесконтактная АСМ, метод фазового контраста, метод латеральных сил, динамическая силовая микроскопия, МСМ, методика зонда Кельвина, сканирующая емкостная микроскопия, электросиловая микроскопия, микроскопия пьезоотклика, силовая спектроскопия, нанолитография и наноманипуляции, СТМ, микроскопия токов растекания, измерение вольт-амперных характеристик.

Автоматизация
Автоматическая настройка регистрирующей системы CombiScope освобождает пользователя от рутинных операций, а также обеспечивает повторяемость настройки вне зависимости от его опыта. Моторизация позиционирования образца в горизонтальной плоскости позволяет пользователю легко находить область, в которой необходимо производить сканирование. В автоматическом режиме пользователю необходимо лишь указать основные параметры зонда и поле сканирования для того, чтобы программа произвела полную настройку системы, подвела зонд к поверхности образца и начала сканирование.

Оптический доступ к зонду и образцу
Наличие оптического доступа к образцу сверху, сбоку и снизу позволяет работать с минимальной фокальной областью, воздействовать на образец лазером с заданной поляризацией и собирать рассеянный свет с поверхности образца в максимальном телесном угле, что особенно важно для проведения ГКР/TERS экспериментов.

Регистрирующая система с ИК лазером
Позволяет измерять широкий диапазон образцов с высоким разрешением, включая образцы, чувствительные к видимому свету. Пользователь может проводить измерения флуоресценции или комбинационного рассеяния одновременно с АСМ сканированием без перекрестных помех.

Цифровой контроллер
Электроника микроскопа дает возможность одновременно регистрировать сигналы на разных частотах. Возможность подачи модуляции на зонд и X, Y и Z сканеры. Наличие выхода напряжения смещения. Цифровые входы/выходы и аналоговые входы для интеграции с внешними устройствами.

Высокостабильные оптические измерения и TERS-режим
Благодаря неподвижности точки подвеса зонда во время сканирования удается добиться устойчивого совмещения кончика зонда и фокальной области возбуждающего лазера, что важно для экспериментов с резонансным усилением оптического сигнала под зондом (TERS). Для более точного и стабильного совмещения дополнительно может быть установлен сканер объектива, работающий в любом их трех оптических каналов, а также использовать специально разработанные аппаратные и программные методики для синхронизации комбинированных СЗМ/Раман измерений и максимизации усиления.

Совместимость с оптическими микроскопами
Устанавливается на инвертированные микроскопы исследовательского класса Nikon Ti-S/U/E, Olympus IX-71/81. Совместим с методиками ДИК, фазового контраста, флуоресцентными измерениями с использованием штатных оптических конденсоров.

Гибкость программного обеспечения
Благодаря встроенным в программное обеспечение языку программирования Lua и макроязыку для программирования DSP пользователь имеет возможность адаптировать прибор под свои специфические задачи.

Параметры Значения

Максимальный размер образца (ДхШхВ), мм

50 х 50 х 5

Размер предметных стекол (ДхШ), мм

75 х 25

Контроллер:

Количество синхронных усилителей

2

Цифровой генератор
– количество, шт.
– разрядность, бит
– диапазон, МГц
– разрешение, Гц


6
32
5
0,01

Частота ЦСП, МГц

<300

Интерфейс

USB 2.0

АЦП
– частота, кГц
– разрядность, бит
– количество каналов


500
18
20

Высоковольтные усилители
– напряжение, В
– шум, ppm


-5…+120
не более 0,4

Напряжение смещения (AC, DC), В

-10…+10

Напряжение смещения в режиме электрической нанолитографии, В

-50…+50

Частотный диапазон напряжения, МГц

0 ÷ 2

Сканер:

Диапазон сканирования, мкм

100 x 100 x 20 (±10%)
опционально 200 х 200 х 20 (±10%)

Тип сканирования

образцом

Нелинейность по осям XY, %

не более 0,05

Нелинейность по оси Z, %

не более 0,05

Шумы (СКО), нм
– по XY в полосе 200 Гц с включенными датчиками, В
– по XY в полосе 100 Гц с выключенными датчиками
– шумы датчика Z в полосе 1000 Гц


0,1
0,02
< 0,04

Цифровая обратная связь

по осям X, Y и Z

Резонансная частота по XY, без нагрузки, кГц

7

АСМ головка:

Длина волны лазера, нм

1300

Шум регистрирующей системы, нм
– головка HE001
– головка HE002


< 0,03
< 0,1

Оптическая система (видеомикроскоп с XY позиционером):

Головка HE001
– положение объектива сверху
– оптическое разрешение, мкм
– поле зрения, мкм
– положение объектива под углом


10х, NA = 0,28
1,0
от 900 до 140
50х, NA = 0,55

Головка HE002
– положение объектива сверху
– оптическое разрешение, мкм
– поле зрения, мкм
– положение объектива под углом


10х, NA = 0,7
0,4
от 100 до 50
50х, NA = 0,55

Выбор нижнего объектива

сухой или иммерсионный, до NA = 1,40

Рекомендуемые материалы


Яндекс.Метрика