Спектральный эллипсометр HORIBA Uvisel для контроля изготовления пленок на основе графена CVD-методом в режиме реального времени в проекте GLADIATOR

Европейский проект GLADIATOR (производство, исследование и интеграция пленок графена) направлен на развитие и усовершенствование подхода к производству высококачественного графена с пропусканием ≤ 90% и сопротивлением слоя ≥ 10 Ω/sq. Одним из ключевых направлений проекта является совершенствование процесса выращивания моно- и мультислоев графена CVD-методом, который позволяет осуществлять контроль над изготовлением пленок в режиме реального времени.

Адаптированный для работы с установкой газо-фазного осаждения, спектральный эллипсометр HORIBA Uvisel в исполнении in-situ был установлен в Университете Аристотеля в Салониках (Греция). Использование метода спектральной эллипсометрии позволило ученым впервые продемонстрировать дифференциацию моно- и мультислоев графена. Столь значимые результаты были получены благодаря использованию в эллипсометре Uvisel технологии фазовой модуляции, которая обеспечивает беспрецедентную точность измерения и высокое отношение сигнал/шум, что особенно важно при проведении научных разработок и исследований тонких пленок графена.

Учёные продолжают работу по адаптации эллипсометра Uvisel, что позволит в дальнейшем получать дополнительную информацию о химии поверхности и качестве пленок графена в процессе роста.

Более подробную информацию о приборе можно получить, пройдя по ссылке: Спектральный эллипсометр Uvisel.

Если вы хотите узнать больше, пишите по e-mail: nytek@nytek.ru или звоните по тел. +7 (495) 661 0681.