Исследование пленок оксида кремния, нанесенных на прозрачную подложку
Предлагаем вашему вниманию новое приложение для спектральных эллипсометров HORIBA Scientific – Анализ пленок оксида кремния, нанесенных на прозрачную подложку.
Оксид кремния используется во многих областях промышленности и приборостроения. Тонкие пленки SiO2 широко используются в микроэлектронике в качестве защитного слоя кремниевых пластин и солнечных элементов. В случае применения в фотовольтаике пленки SiO2 наносятся на прозрачное стекло, имеющее очень близкое к наносимому слою значение показателя преломления. Указанная особенность существенно осложняет процесс измерения толщин и оптических характеристик таких покрытий, и является трудной задачей для многих спектральных измерительных систем.
В приложении описаны особенности прибора и программного обеспечения, которые позволяют эллипсометру HORIBA Uvisel решать подобные задачи с высокой точностью и воспроизводимостью.
С более подробной информацией можно ознакомиться по ссылке: Приложение Эллиспометрия - Анализ SiO2 на прозрачной подложке (eng).
