Определение оптических характеристик ITO пленок, нанесенных при разных атмосферных условиях

Предлагаем вашему вниманию новое приложение для спектральных эллипсометров HORIBA Scientific – Определение оптических характеристик ITO пленок, нанесенных при разных атмосферных условиях.

Оксид индия и олова (ITO) является одним из наиболее широко используемых прозрачных в широком спектральном диапазоне материалов, обладающий высокой электрической проводимостью и оптической прозрачностью, который также может быть легко осажден в виде тонкопленочного покрытия. Целью исследования, которое описано в приложении, было изучение влияния условий термообработки при разных атмосферных условиях на оптические свойства ITO пленок с помощью спектральной эллипсометрии в диапазоне 190-2100 нм. Полученные оптические константы (n, k) показали, что любая термообработка повышает прозрачность ITO пленки и уменьшает поглощение в ближнем ИК диапазоне.

С более подробной информацией можно ознакомиться по ссылке: Приложение Эллиспометрия - Определение оптических характеристик ITO пленок, нанесенных при разных атмосферных условиях (рус).